熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過程，是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一；它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。

 

    真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用

 

    熱真空系統(tǒng)是指在真空和一定的溫度條件下驗證航天器及其組件各種性能與功能的試驗，由冷浸、熱浸與變溫過程組成。其環(huán)境條件為真空度優(yōu)于6.5×10-3Pa；具有冷黑背景，半球法向發(fā)射率大于0.90。在模擬試驗時，試件多處于工作狀態(tài)并測量其工作參數(shù)和環(huán)境參數(shù)。冷浸是使航天器及其組件處于規(guī)定的試驗低溫度，并停留規(guī)定的時間；熱浸是使其處于規(guī)定的試驗高溫度，并停留規(guī)定的時間。從室溫開始降至規(guī)定的試驗低溫度，實行冷浸再上升至規(guī)定的試驗高溫度，實習(xí)熱浸，后回到室溫，成為一個溫度循環(huán)。

 

    熱真空系統(tǒng)又稱空間環(huán)境模擬設(shè)備或空間模擬器，它是模擬衛(wèi)星及其組件在軌道運行中的高真空條件下，對衛(wèi)星組件進行考驗，這就是通常說的組件熱真空試驗。熱真空試驗箱主要由真空容器、熱沉與輻射屏、試驗平臺、制冷、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測量與控制系統(tǒng)及安全保護系統(tǒng)組成。

 

    在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用的使用說明

 

    真空系統(tǒng)在投入生產(chǎn)使用前，必須仔細檢查各部位緊固件是否有松動現(xiàn)象，若有松動必須校正擰緊。開車前水箱必須加滿水，打開泵進口閥，再運行耐腐泵，嚴禁泵脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)，以防止損壞機封、葉輪及泵體其它部件。真空系統(tǒng)停車前先打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下，再停車。以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥。（如止回閥失靈，請打開止回閥蓋，清除雜物）。

 

    在使用汽水串聯(lián)噴射真空系統(tǒng)時，先開車再打開蒸汽閥，停車時先關(guān)掉蒸汽閥再停車，以防止溫度過高而損壞水噴射真空泵。熱真空系統(tǒng)在安裝蒸汽管路時，管路一定要保持水平，防止管內(nèi)有積水，否則將影響真空效果。水箱內(nèi)的循環(huán)水應(yīng)經(jīng)常更換或補充，盡量保持較底的水溫，因為水溫過高會影響排氣量和真空度。